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影响探针卡寿命因素
作者:管理员    发布于:2015-09-24 11:03:13    文字:【】【】【

   随着晶圆的集成度提高,探针卡的探针个数越来越多,探针间的pitch越来越小,对探针卡的质量要求越来越高。保证晶圆测试成品率,减少探针卡探测问题,防止探针卡的异常损坏,延长探针卡的使用寿命,降低测试成品,提高测试两滤和测试结果的稳定性和准确性,成为晶圆测试中重要的技术。因此,开展探针卡使用问题的分析和研究具有重要的实用价值。

   研究表明影响探针卡寿命的因素由机台硬件和参数的设定、晶圆自身的影响、探针卡本身的问题,人员操作问题的测试程序的问题。并总结PM7540 65nm晶圆测试过程中的遇到实际问题,通过实验和分析,找到了造成探针卡针及氨氧化和针剂外扩的原因。通过对有可能造成探针卡针尖氧化原因进行罗列、归纳和分析,探针在高温下时间越长,氧化越严重,确定了高温测试是造成针尖氧化的原因。通过对收集的研究数据分析,证明了承载台水平异常是造成针剂外扩的主要原因。解决探针卡的针尖氧化和针迹外扩的问题,可以更好的保护和使用探针卡,延长使用寿命,进而提高晶圆测试的稳定性和测试成品率。

    无锡普罗卡科技是一家专业从事测试解决方案的公司。公司拥有一批在半导体测试行业数十年的员工组成,从事探针卡设计,制造,研发;目前主要生产和销售的产品有晶圆测试探针卡,IC成品测试爪,以及测试系统解决方案。探针卡是一种测试接口,主要对裸芯进行测试,通过连接测试机和芯片,通过传输信号对芯片参数进行检测。主要应用在IC尚未封装前,通过测试筛选出不良产品,在进行之后的封装工程,从而降低封装成本!

脚注信息